苏州智程半导体取得一种可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置专利，避免对晶圆造成交叉污染

2024 年 9 月 1 日消息，天眼查知识产权信息显示，苏州智程半导体科技股份有限公司取得一项名为“一种可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置“，授权公告号 CN115672801B，申请日期为 2022 年 6 月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，且公开了一种可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置，包括刷洗池、传动轴和晶圆片，所述传动轴的表面固定连接有滚筒，所述滚筒的表面开设有多个槽孔，所述滚筒内部与槽孔对应的内表面设置有水道，所述滚筒的内部滑动连接有调节支板，该可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置，通过伸缩机构与调节支板的配合以及刷座与刷头的配合使用，当刷头对晶圆表面进行刷洗之后，可将刷头收回到水道中，挡片与滚筒的配合，可使被收回的刷头所在的水道内部保持封闭状态，从而便于对刷头进行清洗，以去除刷头表面残留的杂质，以保证刷头为洁净的，从而避免对晶圆造成交叉污染，有利于提高晶圆表面刷洗的清洁度。

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